クリーンルームとは

クリーンルームとは、「空気中の微粒子、必要に応じて温湿度、圧力、微量ガス成分、静電気、微振動、電磁波などの環境条件を制御できる部屋」のことです。半導体やディスプレイなどの精密工業製品の製造にはクリーンルームが不可欠です。このような工場のクリーンルームを構築するには室内の温度、清浄度を確保する空調・除塵設備、生産装置に必要な冷却水、特殊材料ガス、純水などを供給するユーティリティ設備、これら設備の冷却、加温、加湿などを行う熱源設備、そして室内の状態、設備機器の運転・停止動作、故障の把握までを行う監視・制御設備が必要です。クリーンルームでは清浄さが求められるため、中で使用する物はサニタリー仕様が基本となっている。